金宏气体成功试产集成电路硅酸乙酯生产厂家 _硅酸乙酯生产厂家

硅酸乙酯生产厂家（金宏气体成功试产集成电路）
【金宏气体成功试产集成电路硅酸乙酯生产厂家】喜讯！

近日，金宏气体总部成功进行了

集成电路用电子级正硅酸乙酯（TEOS）

的试生产。这一突破标志着我公司在解决行业“卡脖子”难题上又迈出了坚实一步，并将在不久后开展TEOS面向市场的大规模生产，为国内集成电路电子材料以国产替代进口，实现自主可控等方面做出新的贡献。

01

耕耘结硕果

入选省科技成果转化项目

金宏气体

集成电路用电子级正硅酸乙酯的研发及产业化

是

苏州市相城区惟一入选“2021江苏省科技成果转化专项资金支持项目”的代表。

该资金支持项目普遍具有科技含金量高、社会影响与贡献大等特点，因而在江苏省财政预算常年安排中所获单项资助金额最大，也备受社会各界关注。

电子级TEOS是集成电路中制备外延材料时需要用到的微电子高端化学品，也是第三代半导体材料和新兴半导体产业中重要的前驱体材料，生产过程中对控制金属离子杂质含量等环节要求极高。

金宏气体凭借十多年电子气体开发经验，克服了电子级TEOS纯化过程中金属离子杂质去除难，痕量金属检测难，设备、管道、包装容器易污染等多项技术难题，形成了具有自主知识产权的电子级TEOS纯化、检测、过滤和充装技术，在试产成功后受到了业界广泛瞩目。

02

锐意求进取

金宏气体产学研成绩喜人

金宏气体作为国内民营气体行业的领头羊，一直坚持“纵向发展、横向布局”的整体战略，不断加大研发投入力度并丰富企业产品线，积极开发包括电子级正硅酸乙酯（TEOS）、高纯度二氧化碳等在内的优质电子特气产品。

高层次打造“产学研”合作

多年来，金宏气体联合华东师范大学、天津大学、苏州大学等高校机构，在打造高层次“产学研”合作平台上成效显著。自2008年来已陆续获得行业专利234件（其中发明专利41件，实用新型专利182件，外观设计专利11项，计算机软件著作权5件）。

公司建设有国家企业技术中心、国家博士后科研工作站、省级高纯特种气体工程中心、CNAS认可实验室，公司被评为国家专精特新“小巨人”企业、国家火炬计划重点高新技术企业、国家知识产权优势企业、国家工信部品牌培育试点企业等。

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金宏气体成功试产集成电路 硅酸乙酯生产厂家

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