得益于国家大力扶持光刻机相关技术发展，一家公司一年取得的政府补助竟高达3.21亿元（人民币，下同），远超其营业收入 。这家公司便是北京华卓精科科技股份有限公司（以下简称“华卓精科”），专注于半导体设备的研发生产 。
9月17日，被媒体称为芯片“光刻机第一股”的华卓精科（首发）获上市委会议通过 。这意味着，华卓精科距离科创板IPO挂牌交易越来越近 。
华卓精科的前身是华卓有限，成立于2012年5月9日，由北京信汇科技有限公司、北京华卓精密科技有限公司、徐登峰分别出资640万元、350万元、10万元设立 。资料显示，华卓精科主营是以超精密测控技术为基础，研究、开发以及生产超精密测控设备部件、超精密测控设备整机并提供相关技术开发服务 。其为业界熟稔，是因为光刻机双工件台 。
光刻机又称掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备，其用于在硅晶圆（芯片）上转印半导体电路图案的工序 。而光刻机工件台是光刻机的三大核心部件之一 。华卓精科是国内首家自主研发、实现光刻机双工件台商业化的公司，并成为国产光刻机公司上海微电子的核心子系统供应商 。招股书（上会稿）披露，目前该公司光刻机双工件台技术只有上海微电子一家有该类采购需求，2017年、2018年该部分营收分别为1521.37万元、795万元 。
招股书显示，华卓精科的整体收入规模较小 。2018年-2020年，华卓精科的营业收入分别为8570.92万元、1.21亿元、1.52亿元，2021年上半年营收达6019.09万元，较2019年上半年增长73.60%；报告期内归属于母公司所有者的净利润分别为1512.36万元、2087.24万元、1242.83万元；综合毛利率分别为50.61%、43.31%、45.05% 。
华卓精科各项营收均低于国内上市同行中微公司（688012.SH）、长川科技（300604.SZ）和刻蚀机研发企业北方华创（002371.SZ），其中北方华创2019年营业收入更是高达40亿元 。
而在2021年上半年，华卓精科净利出现由正增长到亏损状态，净利润达到-1874.07万元 。华卓精科表示，出现亏损原因，主要系公司研发人员、管理人员较同期大幅增加，导致研发人员薪酬及管理人员薪酬增幅较大，同时研发材料投入同比增加、办公大楼折旧费用增加也导致公司与上年同期相比亏损进一步扩大 。同时随着公司银行贷款余额增加，也导致2021年上半年利息费用较上年同期增幅较大 。

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具体业务营收方面，根据最新的上会招股书，华卓精科营收主要来源于三部分：超精密测控装备整机、超精密测控装备部件以及其他 。超精密测控装备部件和超精密测控装备整机两项业务合计占主营业务收入的比例分别为 95.81%、99.56%及97.91% 。
招股书显示，2020年，超精密测控装备整机营收为1.18亿元，占比为77.56% 。其中，精密运动系统及技术开发产品销售收入为9655.11万元；纳米精度运动及测控系统技术开发收入为1737.74万元；静电卡盘及技术开发和隔振器营收占比不到2% 。
2020年，超精密测控装备整机部门营收为3096.11万元，占比20.35% 。其中，晶圆级键合设备及技术开发产品销售收入1,364.60万元，技术开发收入为94.34万元；激光退火设备产品销售收入为1637.17万元；其他加工检测维修等服务收入仅为317.30万元，占比为2.09% 。
总的来说，报告期内华卓精科来自光刻机零部件的收入极少，在上会稿中则去掉了“光刻机双工件台”营收部分，大部分都来源于精密测控设备产品销售和服务收入 。而且，报告期内公司毛利率集中45%左右，并不算特别高 。

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