截止目前,东方晶源成功自主研发了计算光刻软件(OPC)、纳米级电子束检测装备(EBI)和关键尺寸量测装备(CD-SEM)三款核心产品,填补了多项国内市场空白,已经成为解决我国集成电路领域“卡脖子”问题的重要力量,对全产业链自主可控具有重要的战略价值和意义 。
根据东方晶源公众号消息显示,2021年上半年,东方晶源的CD-SEM成功出机国内晶圆代工龙头企业,市场地位进一步夯实;02国家重大专项、工业强基等项目顺利推进;成功被评定为第三批国家级专精特新“小巨人”企业 。此外,在客户的支持下,东方晶源一举拿下多个重要订单,东方晶源三款核心产品均已在客户产线验证并实现订单,三款产品也因此填补国内空白 。
2021年9月,东方晶源还宣布已完成新一轮数亿元股权融资 。该轮融资由赛领资本、深创投领投,众多知名投资机构联合投资 。东方晶源称,此轮融资将有助于其加快在集成电路前道电子束检测、计算光刻系统等核心产品的研发进程,加速在集成电路良率管理领域的整体布局 。
根据官网资料显示,目前东方晶源申报国内外发明专利146项,授权发明专利49项,软件著作权14项,注册商标15项 。
目前,对于ASML此番在2021年度报告当中的指控,东方晶源方面并未回应 。
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