为了遏制准噶尔部沿着草原东进 ， 清朝在西北、内蒙古等地 ， 设立了一系列的关口、关隘和城堡 ， 其中 ， 在归化城附近 ， 清朝设立了绥远城 。随后 ， 清朝设立了绥远将军 ， 负责各方面的军务 ， 驻地就在绥远城 。绥远城的地理位置非常重要 ， 有“北上草原、西行大漠、南观黄河、东眺京津”的说法 。
在这一阶段 ， 归化城和绥远城又被称为旧城、新城 。历经几轮大战 ， 再加上准噶尔部的内乱 ， 清朝逐步平定了桀骜不驯的准噶尔部 。随着准噶尔部被平定 ， 归化城、绥远城的军事防御作用下降 ， 中原各省与蒙古各部之间的贸易 ， 再次兴起 。中原地区的茶叶、丝绸、瓷器等等 ， 进入了蒙古各地 。蒙古各地的皮毛、马匹等等 ， 进入了中原各地 。
起初 ， 内蒙古各地在区划管理上 ， 处于半空白区域 。鉴于归化城、绥远城的经济地位 ， 乾隆皇帝在位时期 ， 清朝设立了归绥道 ， 从这个时候开始 ， 归绥道隶属于山西省管理 。归绥道的全称是：山西总理旗民蒙古事务分巡归绥道兼管归化城等处税 ， 主要任务是：督察核转所属各厅的一切刑名、钱谷及丈量开垦旗庄牧地、仓厫积贮、官兵俸饷、解征草束、运送军需 ， 并蒙汉佃田租息、修筑等项 。
归绥道下辖了13个厅 ， 分别是：归化城厅、绥远城厅、萨拉齐厅、清水河厅、托克托厅、和林格尔厅、丰镇厅、宁远厅、兴和厅、陶林厅、武川厅、五原厅和东胜直隶厅 。清朝的厅分为了直隶厅和散厅 ， 直隶厅对等于各个州府 ， 散厅对等于各个县 。归绥道下辖的13个厅 ， 相当于13个县级区划 。这样的情况 ， 一直持续到了清朝统治的末期 。
到了1840年之后 ， 西方列强对清朝发动了一系列的战争 ， 清朝一败再败 ， 国力衰败 ， 不得不签署了一系列不平等条约 。与此同时 ， 西方列强开始染指清朝的各地 。其中 ， 内蒙古各地出现了人口偏少、管理不畅通的局面 。清朝开始鼓励华北各省的人们 ， 向内蒙古各地移民 。同一时期 ， 山西省各地遭遇了一系列的自然灾害 。
为了生活 ， 山西各地的人们 ， 开始向北进入归绥道等地讨生活 ， 这就是“走西口”的原型 。在清朝统治的末期 ， 先后出现了“走西口”“闯关东”等人口迁徙 。随着外来人口的不断进入 ， 归绥道各个厅的耕地逐步增加 ， 经济开始持续发展 。为了更好的管理这些区域 ， 1905年 ， 清朝在归绥道撤厅设县 ， 保留归绥道的基础上 ， 撤销了原有的13个厅 ， 设立了12个县 。
例如托克托县、林格尔县、五原县、武川县、东胜县、归绥县、萨拉齐县、清水河县等等 ， 归化城厅与绥远城厅合并 ， 组成了归绥县 ， 也就是归绥市的前身 。1912年 ， 已经统治了200多年的清朝灭亡 ， 我国进入了军阀混战的复杂阶段 。北洋军阀政权上台以后 ， 由于各地的道、府区划都被撤销 ， 鉴于内蒙古各地的实际情况 ， 清朝设立了绥远特别区、热河特别区等几个特别区 。
特别区的情况确实特别 ， 因为 ， 这几个特别区不属于省份 ， 同时又具备管理地方的任务 。1928年 ， 为了加强对内蒙古各地的管理 ， 同时起到战略缓冲作用 ， 我国陆续设立了察哈尔省、绥远省、热河省等几个省份 ， 简称塞北四省 。绥远省组建以后 ， 包括了上述的12个县 ， 以及四子部落旗、茂明安旗、喀尔喀右翼旗、乌拉特前、中、后三旗等地 。

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